第八十九章 范学东
长胜精工,导领这次研发是的郭东,他等老板和吴总走后,就继续主持会议。
他是具体执行人,当然要将事情安排得更细了。
“咚咚”他也学着老板的样子,敲了敲话筒。看到同事们停止了说话,将注意力放到自已⾝上后,就始开说:“这次研发的设备很复杂,是不老板说得那么简单。我刚才仔细思考了下一,决定做出以下安排。首先,”说到这里,他指着前排的个一大概25、6岁的年轻人说:“赵东海,你带两个人去非全属研究所拿几

单晶硅

回来,还要请最少一位研究员过来,们他是这方面的行家,们我
有还许多问题要请教们他。”
紧接着他又点了两位年轻人说“王青松和张小璐,们你俩人分别去电子研究所和总部的软讯公司请们他派人来。们他也是这次研发的主力军。”
完说这些话,他就站来起说:“在现就散会吧!不过大家要注意,下午还要开会。”“散会”他又学着老板的样子,边说就边往会场外走了。
郭东回到办公室后,只等了二个多小时,邀请的其它研究所和软讯公司的人就来了。
大家都道知老板很重视,软讯公司是卢汝成亲自带着全部人马来了。电子研究所也是张东方和吴満第二人亲自带了几个人来了,非金属研究所只来了个一人,这些设备与们他的关系不大,能派个一人来,已是不易。
非金属研究所的来人叫范学东,为因他是客人,郭东先与他握手,嘴里说着客气话:“




!”
然后他又对其它人说:“们你
是都

人,我就不一一握手了,们我抓紧时间要紧。在现有范先生在这里,们我先拆开一条单晶硅

瞧瞧,们我有什么不懂的地方好当面请教。”
“对对对,郭部长说得对,们我抓紧时间始开吧!浪费时间是可聇的。”卢汝成跟他开了个玩笑。他装着滑稽的表情说。
“哈哈哈哈!”办公室里其它的人都哄堂大笑来起。这次来的人除了范学东其他人是都

人,前以
是都郭东的手下,不过在现
经已不归他管了,此因难得的放肆了一回。
但是长胜精工的技术员,却不敢笑,想笑也只能用力憋着。们他依照郭东的命令,手忙脚

地拆开了单晶硅

的外薄膜包装。
大家都蹲下来看,发现整

硅

大小不一,有提拉部,颈部、生长部、尾部等。外型也不圆,外表还涂了一层可能是防氧化的油。
“看样子,有只中间这一段有用啊!”郭东指着中间那段大约20英寸直径的生长部问范学东。
“是的,就是中间这一段,也有些不合格的,不过可以作为底片。每一

加工成型的

材都需要通过人工检测,合格的作为基片,不合格的作为底片。具体的方法就是通过⾼倍显微镜观测,有只晶相一致的才能作为基片。”
范学东毕竟是专业人士,他比沈丹青介绍得祥细多了,也专业得多。这全都归功于新成立的技术信息部的功劳,们他从国外搜罗了大量的科学文献和技术资料,此因各研究所的技术员,们他的理论知识是突飞猛进。仅从理论上讲,们他
经已不弱于国內各大研究所的科学家,在某些方面至甚超过们他。谁让沈丹青成立了技术信息部么这
个一专业的间谍组织呢!以所说一家企业有钱是还有点用的。
“这得多浪费啊!,可能只一半有用吧!”郭东出发了感慨。其它人也都点头,认同他的观点。
“这经已算好的啦!国外还如不
们我呢!这还得归功于们你制造的单晶硅生长炉常非精密。不过们你也不要担心,剩下的们我还可以回收。不会太浪费的。”范学东一副少见多怪的神态向们他解释道。
“那这些油呢?有什么清洗

吗?”郭东又指着外层的油问他。
“当然有,并且还需要清洗两次,后最
次一还需要用无氧超纯⽔冲洗。冲洗⼲净后,还要烘⼲。”范学东又向们他科普了一番。
“啪啪啪!”郭东蹲着仔细思考了一番就站来起拍了拍手掌说:“好啦!大家也了解的差不多了,我刚才仔细地思考了下一,发现问题还很复杂,远远是不老板所说的几台机器那么简单。”
完说,他就走到一张画图的办公桌边,拿了一张绘图纸和一支笔,先勾画了个一菗象的草图。他指着图上的两个图案说:“我把整套设备规划成两部分,一部分是不需要的氩气环境下工作的,另一部分是必须集成到氩气环境下工作的。我先讲前一部分。”
完说他就又拿笔在纸上画了几个示意草图,他拿笔指着其中个一说:“们我首先要切断,为因是大物体切断以所不需要太精密,我设想就是一台机

就可以了,反正后续有还许多加工处理步骤。不过要注意,在切断的时候要加防氧化油,把

材的两个横载面涂抹油,目是的防止氧化。”
完说这些他就又用笔指着另外个一图案说:“切断之后就要把硅

滚圆,使它符合硅晶圆基片的大小要求,并且保持整


材圆整度的一致

,在这个加工步骤中,也要加防氧化油,使整


材外表有油保护,防止氧化。”
说到这里,他又用笔指着另个一图标道说:“到了这一步,就必须在氩气环境內进行下一步了,此因,们我必须把去油、清洗和烘⼲这三个步骤集成到整个系统里面。防止硅晶

暴露在空气中而被氧化。”
“等等,郭部长,清洗和烘⼲这两个步骤,光刻机、离子注⼊机和cvd机都要用到,且而你还忘了,回火这个步骤,单硅晶

在切薄片的时候,因温度过⾼的原因会变形,此因需要回火。”范学东毕竟是专业人士,比们他更了解整个制程工艺。此因出言提醒了郭东。
“谢谢你的提醒!范先生。”郭东不知如何称呼他的职务,只好叫他先生了。
“没什么,们我
是不
起一解决问题嘛!”
范学东摇着手,客气道。
“好!既然是样这,那们我就把烘⼲炉和回火炉集合成一体,只需要加个一温度调节就解决了。”郭东用拿笔的右手重重地捶了下一桌子说出了自已的想法。
完说他又皱起了眉头,然后像自言自语地道说:“不过样这一来,老板说的一条轨道远远不够,长长短短可能要十多条,像一条复杂的铁路系统了。只不过很短吧了。”
“我想的也差不多,整套系统绝不简单,们我要把里里外外都考虑清楚了,再始开设计,量尽减少不必要的错误。”卢汝成是在场地位最⾼的,还超过了他前以的顶头上司郭东,此因他有没顾虑的发表了自已的意见。
“嗯!卢总说得不错,那们我休会个一小时,大家都思考思考。”郭东作为主人,作了决定。
郭东完说,大家都找座位坐下。每个人都在拼命地思考,在里心描绘出整个系统的雏形,设想怎样才更合理。
“咚咚”过了个一小时,郭东准时敲响了桌子,将大家从思考中惊醒过来。
他见大家都注意到了自已就始开
道说:“由于人数较多,就不个一个发言了,时间不允许。我说出我的想法,有什么不对的大家补充。”
他没等大家回答,组织了思路就始开说了:“我把去油、清洗、烘⼲和切片集成在一条轨道上,具体步骤按我说的顺序来。切完的硅片通机械臂输送到烘⼲室也就是回火炉回火,然后再送到对面的打磨机。并且机械臂的托盘必须要是真空昅盘,为因硅片很薄,不能用机械的方式传输,否则会损伤硅片。同理打磨托盘也要是真空昅盘式,肯定不能用卡钳的方式,否则损伤更大。上胶机必须设计两部,两种不同的胶不能混和在起一,否则会有互相沾染的危险。最重要是的上完胶要有个一烘⼲的步骤,这里也要用机械臂直接输送用不设轨道。此因必须把两台上胶机都布置在对面。两台上胶机和打磨机体积都不大,可以布置得很紧凑。
又为因各个步骤都要检测,此因
们我可以把机械臂运行的轨道用玻璃封闭,方便使用电子显微镜检测。
我设想的大体系统架构就是样这,具体到每部机器再具体设计。大家有什么补充的就说下一。”
完说他就坐到。,将位置让了出来。
“咳咳”卢汝成见其它人都不说,就咳嗽两声,始开发言:“我认为郭部长的设想经已
常非完善了,我只补充一条,还需要个一单独的光刻胶腐蚀步骤。为因光刻机会进行多次光刻,那么就要进行多次的上胶去胶,此因,有必要设计个一单独的去胶室。”
完说这些他就不再说了,把时间让给别人了。实其到了这一步经已
常非完善了,大家没什么好补充的了。此因
下一子冷场了。
郭东见大家不再发言,就又站来起说:“既然大家不再补充啦!那们我就散会吧!吃饭时间到了,们我公司食堂的饭菜很好的,大家都道知的。哦!瞧我,范先生是客人不道知。罪过罪过!”
完说他调⽪的对范学东双手作揖。
“哈哈哈哈!”大家又开心的大笑来起。
个一有能力的人,是总会想办法调节气氛。而郭东就是样这的人。
未完待续…
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